Como são fabricados os transistores de 14 nm?

Mais da mesma forma que são fabricados transistores maiores em Circuitos Integrados. Os materiais são depositados e planarizados utilizando Polimento Mecânico Químico, aplica-se um fotossensível, o fotossensível é exposto através de uma máscara utilizando luz UV profunda, o fotossensível é curado e gravado, o material base é gravado (onde não é mascarado pelo fotossensível remanescente), e o fotossensível é removido.

A 14 nm, fazendo com que a máscara seja complicada, devido ao fato de que você está tentando fazer características menores do que o comprimento de onda da luz UV que está sendo utilizada. Para isso, são utilizados vários truques, como interferência de fase e mascaramento duplo. A máscara resultante não se parece muito com a maioria das características que estão sendo feitas. É um processo muito complexo e caro para fazer estas máscaras.

A maior diferença é que (IIRC) os transistores de 14 nm de todos são finFET, e não planar. FinFET - Wikipedia Sem usar finFETs, é difícil tirar corrente suficiente de um transistor de 14 nm.